Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Издательство "Підручник НТУ "ХПІ"
Анотація
Монография посвящена результатам электронно-микроскопических исследований структуры пленок и закономерностям ее формирования при дискретном осаждении на подложку пароплазменных потоков, сформированных импульсным лазерным распылением металлических и полупроводниковых мишеней. Также приведены результаты исследований структурных и фазовых превращений в пленках при отжиге и естественном старении. Предназначено для студентов, аспирантов и преподавателей физико-технических и материаловедческих специальностей
Опис
Ключові слова
лазерная эрозионная плазма, плазма, энергетический спектр, пароплазменный поток, лазерные конденсаты, тонкопленочные слои, осаждение пленок, эпитаксиальные пленки, лазерно-термическое соосаждение, аморфная среда, электронография, аморфизированные конденсаты золота, газовые примеси, конденсаты, кристаллизация, монография
Бібліографічний опис
Багмут А. Г. Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением : монография / А. Г. Багмут ; Нац. техн. ун-т "Харьков. политехн. ин-т". – Харьков : Підручник НТУ "ХПІ", 2014. – 304 с.