Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением

Ескіз

Дата

2014

ORCID

DOI

item.page.thesis.degree.name

item.page.thesis.degree.level

item.page.thesis.degree.discipline

item.page.thesis.degree.department

item.page.thesis.degree.grantor

item.page.thesis.degree.advisor

item.page.thesis.degree.committeeMember

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Издательство "Підручник НТУ "ХПІ"

Анотація

Монография посвящена результатам электронно-микроскопических исследований структуры пленок и закономерностям ее формирования при дискретном осаждении на подложку пароплазменных потоков, сформированных импульсным лазерным распылением металлических и полупроводниковых мишеней. Также приведены результаты исследований структурных и фазовых превращений в пленках при отжиге и естественном старении. Предназначено для студентов, аспирантов и преподавателей физико-технических и материаловедческих специальностей

Опис

Ключові слова

лазерная эрозионная плазма, плазма, энергетический спектр, пароплазменный поток, лазерные конденсаты, тонкопленочные слои, осаждение пленок, эпитаксиальные пленки, лазерно-термическое соосаждение, аморфная среда, электронография, аморфизированные конденсаты золота, газовые примеси, конденсаты, кристаллизация, монография

Бібліографічний опис

Багмут А. Г. Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением : монография / А. Г. Багмут ; Нац. техн. ун-т "Харьков. политехн. ин-т". – Харьков : Підручник НТУ "ХПІ", 2014. – 304 с.

item.page.endorsement

item.page.review

item.page.supplemented

item.page.referenced