Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением
Loading...
Date
Authors
item.page.orcid
item.page.doi
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Издательство "Підручник НТУ "ХПІ"
Abstract
Монография посвящена результатам электронно-микроскопических исследований структуры пленок и закономерностям ее формирования при дискретном осаждении на подложку пароплазменных потоков, сформированных импульсным лазерным распылением металлических и полупроводниковых мишеней. Также приведены результаты исследований структурных и фазовых превращений в пленках при отжиге и естественном старении. Предназначено для студентов, аспирантов и преподавателей физико-технических и материаловедческих специальностей
Description
Keywords
лазерная эрозионная плазма, плазма, энергетический спектр, пароплазменный поток, лазерные конденсаты, тонкопленочные слои, осаждение пленок, эпитаксиальные пленки, лазерно-термическое соосаждение, аморфная среда, электронография, аморфизированные конденсаты золота, газовые примеси, конденсаты, кристаллизация, монография
Citation
Багмут А. Г. Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением : монография / А. Г. Багмут ; Нац. техн. ун-т "Харьков. политехн. ин-т". – Харьков : Підручник НТУ "ХПІ", 2014. – 304 с.