Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением
Дата
2014
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Издательство "Підручник НТУ "ХПІ"
Анотація
Монография посвящена результатам электронно-микроскопических исследований структуры пленок и закономерностям ее формирования при дискретном осаждении на подложку пароплазменных потоков, сформированных импульсным лазерным распылением металлических и полупроводниковых мишеней. Также приведены результаты исследований структурных и фазовых превращений в пленках при отжиге и естественном старении. Предназначено для студентов, аспирантов и преподавателей физико-технических и материаловедческих специальностей
Опис
Ключові слова
лазерная эрозионная плазма, плазма, энергетический спектр, пароплазменный поток, лазерные конденсаты, тонкопленочные слои, осаждение пленок, эпитаксиальные пленки, лазерно-термическое соосаждение, аморфная среда, электронография, аморфизированные конденсаты золота, газовые примеси, конденсаты, кристаллизация, монография
Бібліографічний опис
Багмут А. Г. Электронная микроскопия пленок, осажденных лазерным испарением : монография / А. Г. Багмут ; Нац. техн. ун-т "Харьков. политехн. ин-т". – Харьков : Підручник НТУ "ХПІ", 2014. – 304 с.