Технології прогресивного корпусування ІМС: основні виклики
Вантажиться...
Дата
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
закон Мура, кристали, хімічні технології, фотолітографія
Бібліографічний опис
Чумаченко С. В. Технології прогресивного корпусування ІМС: основні виклики / Чумаченко С. В., Демченко О. І. // Сучасні напрями розвитку інформаційно-комунікаційних технологій та засобів управління = Current directions of development of information and communication technologies and control tools : тези доп. п'ятнадцятої міжнар. наук.-техн. конф., 24–25 квітня 2025 року : [у 4 т.]. Т. 2 : секція 2 / орг. ком.: Гашимов Е. Г. огли, Коваленко А. А., Кучук Г. А. [та ін.] ; Інститут систем управління МНО Азербайджанської Республіки, Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", Харківський національний університет радіоелектроніки [та ін.]. – Баку ; Харків ; Жиліна : [б. в.], 2025. – С. 26-27.