Технології прогресивного корпусування ІМС: основні виклики

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЧумаченко, С. В.
dc.contributor.authorДемченко, О. І.
dc.date.accessioned2025-10-13T09:11:09Z
dc.date.issued2025
dc.identifier.citationЧумаченко С. В. Технології прогресивного корпусування ІМС: основні виклики / Чумаченко С. В., Демченко О. І. // Сучасні напрями розвитку інформаційно-комунікаційних технологій та засобів управління = Current directions of development of information and communication technologies and control tools : тези доп. п'ятнадцятої міжнар. наук.-техн. конф., 24–25 квітня 2025 року : [у 4 т.]. Т. 2 : секція 2 / орг. ком.: Гашимов Е. Г. огли, Коваленко А. А., Кучук Г. А. [та ін.] ; Інститут систем управління МНО Азербайджанської Республіки, Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут", Харківський національний університет радіоелектроніки [та ін.]. – Баку ; Харків ; Жиліна : [б. в.], 2025. – С. 26-27.
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/93979
dc.language.isouk
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
dc.subjectзакон Мура
dc.subjectкристали
dc.subjectхімічні технології
dc.subjectфотолітографія
dc.titleТехнології прогресивного корпусування ІМС: основні виклики
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Chumachenko_Tekhnolohii_2025.pdf
Розмір:
133.47 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
2.95 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Сучасні напрями розвитку інформаційно-комунікаційних технологій та засобів управління. 2025