Математические модели тепломассообменных процессов при вакуумном катодном осаждении покрытий

Abstract

Предложены математические модели тепломассообменных процессов при нанесении покрытий на детали машин и режущий инструмент методом конденсации в вакууме на поверхности изделия вещества из плазменной фазы с ионной бомбардировкой — методом КИБ. Модели предназначены для использования при проектировании технологического процесса нанесения, а также для управления процессом в реальном времени.Mathematical models of heat-mass exchange processes at coverings drawing on details of machines and cutting tool by a condensation method in vacuum on a surface of a product of substance from a plasma phase with ion bombardment – method CIB are offered. Models are intended for use at designing of technological process of drawing, and also for steering of process in real time.