Error sources in a pyrometric system for controlling the parameters of A3B5 heterostructures during epitaxial growth

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorVoronko, A. O.
dc.contributor.authorNovikov, D. O.
dc.date.accessioned2023-11-26T21:16:59Z
dc.date.available2023-11-26T21:16:59Z
dc.date.issued2023
dc.identifier.citationVoronko A. O. Error sources in a pyrometric system for controlling the parameters of A3B5 heterostructures during epitaxial growth / A. O. Voronko, D. O. Novikov // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 31-ї Міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD-2023, 17-20 травня 2023 р. / ред. Є. І. Сокол ; уклад. Г. В. Лісачук. – Харків : НТУ "ХПІ", 2023. – С. 445.
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/71213
dc.language.isoen
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
dc.subjectpyrometric systems
dc.subjectcompound semiconductors
dc.subjectepitaxial growth
dc.subjectheterostructures
dc.subjectmetalorganic chemical vapour deposition
dc.subjecttemperature repeatability
dc.subjecttemperature control system
dc.subjectmeasure of thermal radiation
dc.subjectpyrometry method
dc.subjectambient temperature
dc.subjectspectral sensitivity of the photodiode
dc.subjecttemperature dependence of the spectral sensitivity
dc.subjectthin-film structures
dc.subjectпірометричні системи
dc.subjectскладні напівпровідники
dc.subjectепітаксіальний ріст
dc.subjectгетероструктури
dc.subjectметалоорганічне хімічне осадження з парової фази
dc.subjectтемпературна повторюваність
dc.subjectсистема контролю температури
dc.subjectвимірювання теплового випромінювання
dc.subjectметод пірометрії
dc.subjectтемпература навколишнього середовища
dc.subjectспектральна чутливість фотодіода
dc.subjectтемпературна залежність спектральної чутливості
dc.subjectтонкоплівкові структури
dc.titleError sources in a pyrometric system for controlling the parameters of A3B5 heterostructures during epitaxial growth
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
MicroCAD_2023_Voronko_Error.pdf
Розмір:
214.71 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
11.18 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я. 2023