Вплив електронно-променевого відпалу на структуру і густину аморфних плівок Al₂O₃
Вантажиться...
Дата
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
електронно-променевий відпал, аморфні плівки Al₂O₃, аморфні оксиди алюмінію, густина, кристалізація, електронне опромінювання
Бібліографічний опис
Багмут О. Г. Вплив електронно-променевого відпалу на структуру і густину аморфних плівок Al₂O₃ [Електронний ресурс] / О. Г. Багмут // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 33-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD-2025, 14-17 травня 2025 р. / ред. Є. І. Сокол ; уклад. Г. В. Лісачук ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Електрон. текст. дані. – Харків : НТУ "ХПІ", 2025. – С. 595.