Вплив електронно-променевого відпалу на структуру і густину аморфних плівок Al₂O₃

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБагмут, Олександр Григорович
dc.date.accessioned2025-11-12T09:39:11Z
dc.date.issued2025
dc.identifier.citationБагмут О. Г. Вплив електронно-променевого відпалу на структуру і густину аморфних плівок Al₂O₃ [Електронний ресурс] / О. Г. Багмут // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 33-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD-2025, 14-17 травня 2025 р. / ред. Є. І. Сокол ; уклад. Г. В. Лісачук ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Електрон. текст. дані. – Харків : НТУ "ХПІ", 2025. – С. 595.
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/95111
dc.language.isouk
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
dc.subjectелектронно-променевий відпал
dc.subjectаморфні плівки Al₂O₃
dc.subjectаморфні оксиди алюмінію
dc.subjectгустина
dc.subjectкристалізація
dc.subjectелектронне опромінювання
dc.titleВплив електронно-променевого відпалу на структуру і густину аморфних плівок Al₂O₃
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
MicroCAD_2025_Bahmut_Vplyv_elektronno_promenevoho.pdf
Розмір:
615.74 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
2.95 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я. 2025