Структура и фазовые превращения в пленках, осажденных совместным лазерным распылением Ni и Pd

Abstract

Рассмотрены возможности формирования пленок Pd, Ni и никель палладиевых сплавов при импульсном лазерном распылением одноэлементных и двухэлементных металлических мишеней. Показано, что в случае попеременного осаждения Ni и Pd на подложках при температуре выше 280 К формируются пленки со структурой ГЦК. Постоянная решетки твердого раствора а₀ монотонно возрастает с увеличением содержания палладия в пленке. Имеет место положительное отклонение от закона Вегарда зависимости постоянной решетки раствора от концентрации Pd в пленке. В исходном состоянии пленки характеризуются отсутствием магнитного момента. В результате отжига пленок происходит переход в ферромагнитное состояние, а при перемагничивании наблюдается гистерезис.

The possibility of formation of Pd, Ni and nickel-palladium alloy films by the pulse laser sputtering of one-element and twoelement metallic targets has been considered. In case of alternate mode deposition of Ni and Pd on substrate with the temperature above 280 K the films with fcc structure have been shown to be formed. The solid solution lattice parameter a₀ increases monotonically when the palladium content rises in the films. The positive deviation of the dependence of solution lattice parameter on the Pd content from Vagard’s law takes place. The as-prepared films do not reveal of magnetic moment. As a result of annealing the transition to ferromagnetic state occurs, the hysteresis is observed at magnetization reversal.