Влияние режимов формирования нанокристаллических покрытий TiN на их коррозионно-защитные свойства

Abstract

Электрохимическим методом в 3% растворе NаCl исследованы коррозионно-защитные свойства нанокристаллических покрытий TiN (d ~ 15–25 нм) относительно подложки из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Показано, что в диапазоне исследуемых толщин 1–9 мкм защитные свойства покрытий, сформированные вакуумно-дуговым методом, в основном зависят от толщины и факторов, влияющих на уровень остаточных напряжений, определяющих их дефектность (пористость). Такими факторами являются: скорость напыления, плотность плазменного потока на подложку и амплитуда импульсного потенциала отрицательного смещения на ней, а также давление реакционного газа.

The corrosion protection properties of TiN (d ~ 15–25 nanometers) nanocrystalline coatings related to the substrate of 12Х18Н10Т stainless steel was studied in a 3% solution of NaCl via electrochemical method. It is shown that in the range of the thickness 1–9 μm, protection properties of the coatings formed by the vacuum-arc method, mainly depend on the thickness and the factors which affect the level of residual stresses in them, which determines their defects (porosity). Such factors are: the deposition rate, the plasma flow density near the substrate surface and the amplitude of the substrate pulse bias, as well as the reaction gas pressure.