Особливості формування вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих при дії постійного потенціалу ЗСУВУ
Вантажиться...
Дата
Автори
Пінчук, Наталія Володимирівна
Соболь, О. В.
Звягольський, О. В.
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Бібліографічний опис
Пінчук Н. В. Особливості формування вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих при дії постійного потенціалу ЗСУВУ / Н. В. Пінчук, О. В. Соболь, О. В. Звягольський // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 28-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2020, [28-30 жовтня 2020 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2020. – С. 295.