Особливості формування вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих при дії постійного потенціалу ЗСУВУ
Дата
2020
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
вакуумно-дугове осадження, осадження TiN покриттів, властивості покриттів
Бібліографічний опис
Пінчук Н. В. Особливості формування вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих при дії постійного потенціалу ЗСУВУ / Н. В. Пінчук, О. В. Соболь, О. В. Звягольський // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 28-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2020, [28-30 жовтня 2020 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2020. – С. 295.