Особливості формування вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих при дії постійного потенціалу ЗСУВУ

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorПінчук, Наталія Володимирівна
dc.contributor.authorСоболь, О. В.
dc.contributor.authorЗвягольський, О. В.
dc.date.accessioned2023-11-01T06:21:27Z
dc.date.available2023-11-01T06:21:27Z
dc.date.issued2020
dc.identifier.citationПінчук Н. В. Особливості формування вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих при дії постійного потенціалу ЗСУВУ / Н. В. Пінчук, О. В. Соболь, О. В. Звягольський // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 28-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2020, [28-30 жовтня 2020 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2020. – С. 295.
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/70297
dc.language.isouk
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
dc.subjectвакуумно-дугове осадження
dc.subjectосадження TiN покриттів
dc.subjectвластивості покриттів
dc.titleОсобливості формування вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих при дії постійного потенціалу ЗСУВУ
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
MicroCAD_2020_Pinchuk_Osoblyvosti.pdf
Розмір:
154.06 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.28 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я. 2020