Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения
Loading...
Date
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН
Abstract
Рассмотрены линейные зонные пластинки для жесткого (E > 10 keV) рентгеновского излучения на основе срезов многослойных покрытий W5Si3/Si, изготовленных методом магнетронного распыления. Из численных расчетов следует, что эта пара материалов обеспечивает высокую эффективность в первом и втором порядках дифракции. Экспериментально установлено, что возможен синтез многослойных структур высокого качества, содержащих сотни слоев на кремниевых и стеклянных подложках. Показано, что их срезы могут быть получены путем ионного травления многослойного покрытия через маску
Description
Citation
Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения / И. А. Артюков, В. А. Бурцев, А. В. Виноградов и др. // Журнал технической физики. – 2012. – Вып. 9, т. 82. – С. 101-106.