Особенности роста наноразмерных слоев Mg2Si в многослойных рентгеновских зеркалах Si/Mg2Si
dc.contributor.author | Конотопский, Л. Е. | ru |
dc.contributor.author | Копылец, Игорь Анатольевич | ru |
dc.contributor.author | Севрюкова, Виктория Анатольевна | ru |
dc.contributor.author | Зубарев, Евгений Николаевич | ru |
dc.contributor.author | Кондратенко, Валерий Владимирович | ru |
dc.date.accessioned | 2022-10-25T09:24:01Z | |
dc.date.available | 2022-10-25T09:24:01Z | |
dc.date.issued | 2016 | |
dc.description.abstract | Электронно-микроскопическими и рентгенографическими методами исследованы особенности роста наноразмерных слоев силицида магния в многослойном рентгеновском зеркале Si/Mg2Si с периодом 14.7 нм в исходном состоянии и после отжига. Установлено, что в исходном состоянии слои силицида магния представляют собой аморфную матрицу с включениями нанокристаллической фазы силицида магния в неравновесной гексагональной модификации. Формирование силицида магния в гексагональной модификации происходит под действием механических напряжений, источником которых являются слои кремния. Отжиг многослойного рентгеновского зеркала Si/Mg2Si при Т = 723 К приводит к кристаллизации и рекристаллизации слоев силицида магния из аморфной фазы, что сопровождается уменьшением периода рентгеновского зеркала на 7.3 %. | ru |
dc.description.abstract | Електронно-мікроскопічними та рентгенографічними методами досліджені особливості росту нанорозмірних шарів силіциду магнію у багатошаровому рентгенівському дзеркалі Si/Mg2Si у вихідному стані та після відпалу. Встановлено, що у вихідному стані шари силіциду магнію являють собою аморфну матрицю з включеннями нанокристалічної фази Mg2Si у метастабільній гексагональній модифікації. Формування силіциду магнію у гексагональній модифікації відбувається під впливом механічних напружень, джерелом яких є шари кремнію. Відпал багатошарового рентгенівського дзеркала Si/Mg2Si при T = 723 К призводить до кристалізації та рекристалізації силіциду магнію з аморфної фази, що супроводжується зменшенням періоду рентгенівського дзеркала на 7.3 %. | uk |
dc.description.abstract | Features of magnesium siliced layer growth in Si/Mg2Si multilayers in initial state and after thermal annealing were studied by methods of transmission electron microscopy and X-Ray scattering. Asdeposited magnesium silicide layers are amorphous with nanocrystal inclusions of metastable h-Mg2Si. Formation of Mg2Si in hexagonal modification occurs under the influence of stress produced by silicon layers. At T = 723 К Mg2Si layers finished crystallizes in hexagonal modification, with some coarsening of grains. That is accompanied with 7.3 % reduction in period of the Si/Mg2Si multilayer. | en |
dc.identifier.citation | Особенности роста наноразмерных слоев Mg2Si в многослойных рентгеновских зеркалах Si/Mg2Si / Л. Е. Конотопский [и др.] // Журнал нано- та електронної фізики = Journal of Nano- and Electronic Physics. – 2016. – Т. 8, № 2. – С. 02021-1–02021-6. | ru |
dc.identifier.doi | doi.org/10.21272/jnep.8(2).02021 | |
dc.identifier.uri | https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/58674 | |
dc.language.iso | ru | |
dc.publisher | Сумський державний університет | uk |
dc.subject | многослойное рентгеновское зеркало | ru |
dc.subject | силицид магния | ru |
dc.subject | рентгеновский фазовый анализ | ru |
dc.subject | электронная микродифракция | ru |
dc.subject | багатошарове рентгенівське дзеркало | uk |
dc.subject | силіцид магнію | uk |
dc.subject | рентгенівський фазовий аналіз | uk |
dc.subject | електронна мікродифракція | uk |
dc.subject | X-Ray mirror | en |
dc.subject | magnesium silicide | en |
dc.subject | X-Ray phase analysis | en |
dc.subject | electron microdiffraction | en |
dc.title | Особенности роста наноразмерных слоев Mg2Si в многослойных рентгеновских зеркалах Si/Mg2Si | ru |
dc.title.alternative | Особливості росту нанорозмірних шарів Mg2Si у багатошарових рентгенівських дзеркалах Si/Mg2Si | uk |
dc.title.alternative | Features of Mg2Si Layer Growth in Si/Mg2Si Multilayers | en |
dc.type | Article | en |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
- Назва:
- JNEP_2016_8_2_Konotopskyi_Osobennosti_rosta.pdf
- Розмір:
- 413 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
- Опис:
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 11.25 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: