Исследование процесса осаждения и эксплуатационных свойств многослойно-композиционного наноструктурированного покрытия Ti-TiN-(Ti,Al,Si)N

Abstract

Исследуется процесс осаждения и свойства многослойно-композиционного наноструктурированного покрытия Ti-TiN-(Ti,Al,Si)N. Представлены данные по микротвердости, прочности адгезии покрытия и химическому составу покрытия. Выявлен механизм формирования нано и субнанослоев и влияние наноструктуры на рост зёрен в пределах нанометрического диапазона. Исследуются особенности изнашивания, разрушения и трещинообразования твердосплавных пластин с покрытием на различных участках передней поверхности. Исследованы диффузионные процессы на границах покрытия с обрабатываемым материалом и твердосплавным субстратом и между слоями покрытия.The deposition process and the properties of a multilayer-composite nanostructured coating of Ti-TiN-(Ti, Al, Si) N are studied. Data on microhardness, coating adhesion strength and chemical composition of the coating are presented. The mechanism of formation of nano and subnanoslides and the influence of nanostructure on grain growth within the nanometer range are revealed. The peculiarities of wear, fracture and cracking of carbide coated plates in different parts of the front surface are investigated. Diffusion processes at the coating boundaries with the material to be treated and the carbide substrate and between the coating layers are investigated.