Вплив внутрішньої наноструктури вакуумних конденсатів, отриманих магентронним розпиленням, на їх твердість та адгезію до скляної підкладки

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorСтрижак, В. О.
dc.contributor.authorСухов, В. М.
dc.contributor.authorПетрушенко, Сергій Іванович
dc.contributor.authorСухов, Р. В.
dc.contributor.authorДукаров, Сергій Валентинович
dc.date.accessioned2024-10-26T19:39:20Z
dc.date.issued2024
dc.identifier.citationВплив внутрішньої наноструктури вакуумних конденсатів, отриманих магентронним розпиленням, на їх твердість та адгезію до скляної підкладки / Стрижак В. О. [та ін.] // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 32-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2024, [22-25 травня 2024 р.] / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2024. – С. 319.
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/82816
dc.language.isouk
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
dc.subjectтонкоплівкові матеріали
dc.subjectтонкі плівки
dc.subjectсклерометричне дослідження
dc.titleВплив внутрішньої наноструктури вакуумних конденсатів, отриманих магентронним розпиленням, на їх твердість та адгезію до скляної підкладки
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
MicroCAD_2024_Stryzhak_Vplyv.pdf
Розмір:
3.95 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я. 2024