Дослідження процесу локального травлення міді з використанням сухого плівкового фоторезисту
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
сухі плівкові фоторезисти, СПФ, травлення листової міді, локальне хімічне травлення, електрохімічне травлення, бічне підтравлювання, глибина локального травлення, швидкість травлення, плівки фоторезистів, дослідження
Бібліографічний опис
Каскевич В. С. Дослідження процесу локального травлення міді з використанням сухого плівкового фоторезисту / В. С. Каскевич, С. А. Лещенко // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 30-ї Міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD-2022, 19-21 жовтня 2022 р. / ред. Є. І. Сокол ; уклад. Г. В. Лісачук. – Харків : НТУ "ХПІ", 2022. – С. 432.