Дослідження процесу локального травлення міді з використанням сухого плівкового фоторезисту

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКаскевич, В. С.uk
dc.contributor.authorЛещенко, Сергій Анатолійовичuk
dc.date.accessioned2023-01-30T00:13:50Z
dc.date.available2023-01-30T00:13:50Z
dc.date.issued2022
dc.identifier.citationКаскевич В. С. Дослідження процесу локального травлення міді з використанням сухого плівкового фоторезисту / В. С. Каскевич, С. А. Лещенко // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 30-ї Міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD-2022, 19-21 жовтня 2022 р. / ред. Є. І. Сокол ; уклад. Г. В. Лісачук. – Харків : НТУ "ХПІ", 2022. – С. 432.uk
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/61817
dc.language.isoukuk
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"uk
dc.subjectсухі плівкові фоторезистиuk
dc.subjectСПФuk
dc.subjectтравлення листової мідіuk
dc.subjectлокальне хімічне травленняuk
dc.subjectелектрохімічне травленняuk
dc.subjectбічне підтравлюванняuk
dc.subjectглибина локального травленняuk
dc.subjectшвидкість травленняuk
dc.subjectплівки фоторезистівuk
dc.subjectдослідженняuk
dc.titleДослідження процесу локального травлення міді з використанням сухого плівкового фоторезистуuk
dc.typeThesisen

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
MicroCAD_2022_Kaskevych_Doslidzhennia.pdf
Розмір:
782.54 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
11.28 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я. 2022