Тонкоплівковий ємнісний перетворювач
Дата
2016
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ДП "Український інститут інтелектуальної власності"
Анотація
Тонкоплівковий ємнісний перетворювач на основі гетероструктури діелектрик/провідник містить діелектричний шар та провідний електрод. Діелектричний шар ємнісного перетворювача виконано на основі двошарової структури поліімід/Аl₂О₃, а провідний електрод виконано на основі двошарової прозорої структури ІТО/гребінчастий Аl.
Опис
Ключові слова
патент, корисна модель, металеві вироби, ультразвукові коливання, провідні електроди, хімічні елементи, дефектоскопія
Бібліографічний опис
Пат. на корисну модель 111320 Україна, МПК G01N 29/34 (2006.01). Тонкоплівковий ємнісний перетворювач / Зайцева Л. В., Зайцев Р. В., Хрипунов Г. С., Горкунов Б. М. ; власник НТУ "ХПІ" (Україна). – № u 2016 03899 ; заявл. 11.04.2016 ; опубл. 10.11.2016, Бюл. № 21. – 5 с. : іл.