Полирование прецизионных поверхностей оптоэлектронных элементов из сапфира

Abstract

В результате исследования закономерностей полирования плоских поверхностей элементов из монокристаллического сапфира обоснована возможность использования в качестве критерия эффективности съема обрабатываемого материала приведенной энергии переноса и показана целесообразность применении водных суспензий полировальных порошков и коллоидных систем из наночастиц.As a result of studies of regularities polishing flat surfaces of elements of single crystal sapphire the possibility use as a criterion for the efficiency of removal of the processed material and the reduced energy transfer shows the appropriateness of the use of aqueous suspensions of polishing powders and colloidal systems of nanoparticles.