Эффективные технологические параметры потоков ионов разных сортов, энергий, зарядов и плотностей токов для получения наноструктур

Abstract

На основе решения совместной задачи теплопроводности и термоупругости получены поля температур и температурных напряжений, в которых выделены зоны, где образуются наноструктуры для любого количества различных ионов и их зарядов от 1 до 3 можно получить зависимости размера зерна, количество атомов в зерне, диапазон глубин, на которых реализуются наноструктуры, от энергии и заряда ионов, что позволяет выбрать технологические режимы обработки

On the basis of the joint decision problem of heat conduction and thermoelasticity obtained temperature field and thermal stresses, which highlighted areas where the nanostructures are formed for any number of different ions and their charges from 1 to 3 can be obtained depending on the grain size, the number of atoms in the grain, the range of depths at nanostructures are realized, the energy and ion charge that allows you to select the technological regimes of processing