Preparation of amorphous Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films by ion-plasma sputtering
Loading...
Date
Authors
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Abstract
Description
Citation
Shepilov D. A., Starikov V. V. Preparation of amorphous Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films by ion-plasma sputtering. X Міжнародна науково-практична студентська конференція магістрантів : матеріали конф., 05-08 квітня 2016 р. : у 3 ч. Ч. 2 / ред. Сокол Є. І. ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" та ін. Харків, 2016. С. 66.