Preparation of amorphous Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films by ion-plasma sputtering
Вантажиться...
Дата
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
amorphous films, ion-plasma sputtering, thin films, oxides, unique properties, structure investigations, medical implants
Бібліографічний опис
Shepilov D. A., Starikov V. V. Preparation of amorphous Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films by ion-plasma sputtering. X Міжнародна науково-практична студентська конференція магістрантів : матеріали конф., 05-08 квітня 2016 р. : у 3 ч. Ч. 2 / ред. Сокол Є. І. ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" та ін. Харків, 2016. С. 66.