Preparation of amorphous Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films by ion-plasma sputtering

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorShepilov, D. A.
dc.contributor.authorStarikov, V. V.
dc.date.accessioned2026-04-15T08:33:34Z
dc.date.issued2016
dc.identifier.citationShepilov D. A., Starikov V. V. Preparation of amorphous Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films by ion-plasma sputtering. X Міжнародна науково-практична студентська конференція магістрантів : матеріали конф., 05-08 квітня 2016 р. : у 3 ч. Ч. 2 / ред. Сокол Є. І. ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" та ін. Харків, 2016. С. 66.
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/101103
dc.language.isoen
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
dc.subjectamorphous films
dc.subjection-plasma sputtering
dc.subjectthin films
dc.subjectoxides
dc.subjectunique properties
dc.subjectstructure investigations
dc.subjectmedical implants
dc.titlePreparation of amorphous Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films by ion-plasma sputtering
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Shepilov_Preparation_2016.pdf
Розмір:
255.84 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
11.15 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

X Міжнародна науково-практична студентська конференція магістрантів. 2016