Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании

Abstract

Сформулирована математическая модель изменения толщины оксидного слоя при ионном азотировании металлов и сплавов в остаточной атмосфере вакуумной камеры. Получены расчеты характерных времен стравливания оксидных пленок при ионном азотировании.

A mathematical model of thickness variation of the oxide layer during ion nitriding of metals and alloys in the vacuum chamber’s residual atmosphere was formulated. Estimates of characteristic times of oxide films dissipation during ion nitriding were obtained.