Определение массового баланса газов-реагентов в процессе нанесения ионно-плазменных покрытий
| dc.contributor.author | Тонконогий, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Хомутова, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Носов, П. С. | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-01-31T09:20:05Z | |
| dc.date.available | 2019-01-31T09:20:05Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.description.abstract | Determination of mass balance gases of reagents in the causing ions-plasma coverage. | en |
| dc.identifier.citation | Тонконогий В. М. Определение массового баланса газов-реагентов в процессе нанесения ионно-плазменных покрытий / В. М. Тонконогий, Е. В. Хомутова, П. С. Носов // Високі технології в машинобудуванні = High technologies of machine-building : зб. наук. пр. – Харків : НТУ "ХПІ", 2009. – Вип. 2 (19). – С. 184-190. | ru |
| dc.identifier.uri | https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/39453 | |
| dc.language.iso | ru | |
| dc.publisher | НТУ "ХПІ" | uk |
| dc.subject | метод конденсации в вакууме | ru |
| dc.subject | метод КИБ | ru |
| dc.subject | вакуумная камера | ru |
| dc.subject | методы нанесения | ru |
| dc.title | Определение массового баланса газов-реагентов в процессе нанесения ионно-плазменных покрытий | ru |
| dc.type | Article | en |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
- Назва:
- VTvMS_2009_2_Tonkonogiy_Opredelenie.pdf
- Розмір:
- 588.52 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
- Опис:
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 11.25 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: