Формування та керування стрічковим електронним потоком при мікрообробці елементів пристроїв для адитивного виробництва

Abstract

Розроблена методика формування та керування електронно-променевою мікрообробкою елементів пристроїв для адитивного виробництва, в основі якої лежить метод зондування електронного потоку стрічкової форми та наступне дослідження зон термічного впливу на електропровідній та діелектричній поверхнях. Досліджено залежності, що лежать в основі методу керування стрічковим електронним потоком, і які представляють просторово-енергетичні характеристики електронної гармати Пірса від прискорюючої напруги, струму розжарення катоду, відстані від гармати до оброблюваної поверхні.The methodology for the formation and operation of electronic and beam microprocessing of device elements for additive production has been developed. The method is based on the method of probing the electronic treat of the ribbon form and further investigation of the zones of thermal action on electrically conductive and dielectric surfaces. The dependencies that underlie the method of controlling the ribbon-based electron treat have been investigated. These dependences represent the spatial and energy characteristics of the Pierce electron gun from the accelerating voltage, the cathode heating current, the distance to the surface.