Особливості формування тонких алмазоподібних наноструктур на різальному інструменті термічним осадженням у вакуумі

Abstract

В статті розглянуто умови отримання тонких алмазоподібних нанометричних структур на різальному інструменті термовакуумним осадження. Приведені геометричні характеристики і хімічна чистота матеріалу, який підлягає осадженню, режими формування та відсотковий вміст осаджуваних матеріалів.

Terms of receipt thin diamond-like nanometrical structures on a toolpiece thermal and vacuum besieging were considered in the article. Geometrical descriptions and chemical cleanness of material that is subject to besieging, the modes over of forming and percentage of the besieged materials were brought also.