Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа
Вантажиться...
Дата
2009
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна
Анотація
Опис
Ключові слова
многослойные периодические системы Mo/Si, многослойная рентгеновская оптика, метод магнетронного распыления, электронная микроскопия
Бібліографічний опис
Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа / Е.Н. Зубарев [и др.] // Фізичні явища в твердих тілах : матеріали 9-ої Міжнар. конф. (1-4 грудня 2009 р.) / ред.: В. С. Криловський, В. П. Пойда. – Харків : ХНУ, 2009. – С. 82.