Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЗубарев, Евгений Николаевичru
dc.contributor.authorКондратенко, Валерий Владимировичru
dc.contributor.authorПершин, Юрий Павловичru
dc.contributor.authorСеврюкова, Виктория Анатольевнаru
dc.date.accessioned2022-06-28T16:05:47Z
dc.date.available2022-06-28T16:05:47Z
dc.date.issued2009
dc.identifier.citationОсобенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа / Е.Н. Зубарев [и др.] // Фізичні явища в твердих тілах : матеріали 9-ої Міжнар. конф. (1-4 грудня 2009 р.) / ред.: В. С. Криловський, В. П. Пойда. – Харків : ХНУ, 2009. – С. 82.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524
dc.language.isoru
dc.publisherХарківський національний університет імені В. Н. Каразінаuk
dc.subjectмногослойные периодические системы Mo/Siru
dc.subjectмногослойная рентгеновская оптикаru
dc.subjectметод магнетронного распыленияru
dc.subjectэлектронная микроскопияru
dc.titleОсобенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газаru
dc.typeThesisen

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Zubarev_osobennosti_formirovaniya_2009.pdf
Розмір:
223.47 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.25 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"