Кафедра "Мікро- та наноелектроніка"

Постійне посилання колекціїhttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/2787

Офіційний сайт кафедри http://web.kpi.kharkov.ua/mne

Від 2022 року (НАКАЗ 31 ОД від 21.01.2022 року) кафедра має назву "Мікро- та наноелектроніка", первісна назва – "Фізичне матеріалознавство для електроніки та геліоенергетики". З 1.09.2024 р. (НАКАЗ 303 ОД від 28.08.2024 року ) кафедра "Радіоелектроніка" приєднана до кафедри "Мікро- та наноелектроніка"

Кафедра "Фізичне матеріалознавство для електроніки та геліоенергетики" була заснована у 1988 році з ініціативи Заслуженого діяча науки та техніки України, доктора фізико-математичних наук, профессора Бойка Бориса Тимофійовича.

За час існування кафедри в галузі електроніки на основі тонкоплівкових моделей були розроблені: нові технологічні методи виготовлення надійних конденсаторів на основі танталу та ніобію, елемент захисту електронних схем від імпульсних перепадів напруги, що не має світових аналогів, резистивний газовий датчик адсорбційно-напівпровідникового типу для аналізу навколишнього середовища тощо.

Кафедра входить до складу Навчально-наукового інституту комп'ютерного моделювання, прикладної фізики та математики Національного технічного університету "Харківський політехнічний інститут".

У складі науково-педагогічного колективу кафедри працюють: 1 доктор технічних наук, 4 кандидата технічних наук, 2 кандидата фізико-математичних наук; 3 співробітника мають звання доцента, 2 – старшого наукового співробітника, 1 – старшого дослідника.

Переглянути

Результати пошуку

Зараз показуємо 1 - 5 з 5

Влияние наноразмерной прослойки оксида олова на эффективность фотоэлектрических процессов в пленочных солнечных элементах на основе теллурида кадмия
(Сумской государственный университет, 2015) Хрипунов, Геннадий Семенович; Пирогов, Александр Викторович; Кудий, Дмитрий Анатольевич; Зайцев, Роман Валентинович; Хрипунова, Алина Леонидовна; Геворкян, В. А.; Гладышев, П. П.
Было исследовано влияние толщины наноразмерной прослойки на эффективность фотоэлектрических процессов в солнечных элементах (СЭ) ITO/SnO₂/CdS/CdTe/Cu/Au, сформированных на различных подложках. Для приборных структур, сформированных на стеклянных подложках, максимальная эффективность 11,4 % достигается при толщине слоя оксида олова 80 нм. Для гибких солнечных элементов, сформированных на полиимидных пленках, максимальная эффективность 10,8 % наблюдается при толщине слоя оксида олова 50 нм. В работе обсуждаются физические механизмы наблюдаемых отличий в КПД.
Разработка экономичных токопроводящих контактов для газочувствительных пленочных слоев диоксида олова
(Сумской государственный университет, 2014) Хрипунов, Геннадий Семенович; Пирогов, Александр Викторович; Новиков, Виталий Александрович; Зайцев, Роман Валентинович; Зайцева, Лилия Васильевна; Хрипунова, Алина Леонидовна
Для снижения себестоимости перспективных для широкомасштабного применения газовых датчиков на основе пленок диоксида олова за счет использования в качестве токопроводящих покрытий пленок алюминия, были проведены исследования влияния режимов работы на морфологию поверхности и кристаллическую структуру пленочных гетеросистем Al/SnO₂. Выявлено, что длительная работа гетеросистем при температурах 400 °С приводит к появлению на поверхности алюминиевой пленки, а затем и на поверхности пленочного слоя диоксида олова частиц олова с размерами до 2 мкм, которые способны нарушить свойства газочувствительные слоя. В работе рассмотрены физические механизмы выявленной межфазного взаимодействия. Предложенная конструкция газового датчика, в которой предусмотрено разграничение температур чувствительного слоя и токоведущих контактов, что позволяет использовать пленки алюминия в указанной приборной структуре.
Влияние технологических параметров на воспроизводимость электрических свойств пленок SnO₂, полученных методом магнетронного распыления
(Одеський національний університет ім. І. І. Мeчникова, 2014) Хрипунов, Геннадий Семенович; Пирогов, Александр Викторович; Новиков, Виталий Александрович; Хрипунова, Алина Леонидовна
Для создания промышленных технологий изготовления газовых датчиков и фронтальных электродов пленочных солнечных элементов исследовано влияние мощности магнетронного распыления и концентрации кислорода в рабочем газе на воспроизводимость электрической проводимости пленок диоксида олова. Экспериментально показано, что для повышения воспроизводимости электрических свойств необходимо снизить электрическую мощность до 10 Вт и повысить концентрацию кислорода до 50%.
Crystal Structure of Nanoscale Tin Dioxide Films Produced by Magnetron Sputtering
(Kyiv polytechnic institute, 2014) Sokol, Yevgen I. ; Pirohov, O. V.; Klochko, N. P.; Novikov, V. A.; Khrypunov, G. S.; Klepikova, K. S.
Investigation of direct current magnetron sputtering parameters effects on the crystal structure of gas sensitive tin dioxide films has revealed that the change in the substrate temperature and in the film thickness leads to the transition from the condensation of metastable conglomerates of amorphous globules to the ≈15 nm SnO₂ crystallites with three-dimensional shape and well-defined edges. The dependence of the SnO₂ structure from the working Ar-O₂ gas mixtures and from their humidity evidences the significant role of the adsorption in the kinetics of the magnetron sputtering of tin dioxide. Due to the adsorption the morphological and dimensional characteristics of the tin dioxide films demonstrate the anomalous stability of the amorphous globules with their enhanced specific surface energy and the stabilization of the amorphous state, selectively retained even after the SnO₂ film reach in general the critical thickness of the crystallization.
Получение пленок диоксида олова для энергосберегающих газовых датчиков
(НТУ "ХПИ", 2014) Хрипунов, Геннадий Семенович; Кривошеев, Сергей Юрьевич; Новиков, Виталий Александрович; Пирогов, Александр Викторович
Проведена оптимизация технологического процесса получения газочувствительных пленок диоксида олова методом магнетронного распыления с последующим отжигом на воздухе. Экспериментально доказано, что газочуствительность пленок диоксида олова увеличивается при увеличении концентрации кислорода в составе распыляющего газа, снижении температуры подложки и уменьшение толщины слоя. Рассмотрены физические механизмы, обуславливающие наблюдаемые экспериментальные закономерности.