Диагностика лазерной плазмы и структура пленок, получаемых при импульсном лазерном напылении
Дата
2016
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
ИЛН, пленка многокомпонентных соединений, температура, режим наносекундной длительности, лазерный конденсат, фазовый состав пленки
Бібліографічний опис
Николайчук Г. П. Диагностика лазерной плазмы и структура пленок, получаемых при импульсном лазерном напылении / Г. П. Николайчук // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я (MicroCAD–2016) : наук. вид. : тези доп. 24-ї міжнар. наук.-практ. конф., [18-20 травня 2016 р.] : у 4 ч. Ч. 2 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2016. – С. 32.