Газовая чувствительность пленок нанокристаллического SiC
Вантажиться...
Дата
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
полупроводниковые газовые сенсоры, газочувствительные полупроводниковые материалы, карбид кремния, пленки нанокристаллического SiC, газовая атмосфера
Бібліографічний опис
Любов Д. В. Газовая чувствительность пленок нанокристаллического SiC / Любов Д. В., Семёнов А. В. // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 27-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2019, [15-17 травня 2019 р.] : у 4 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2019. – C. 351.