Формирование микрокристаллов кубической фазы ZrO₂ при кристаллизации аморфных пленок, осажденных методом лазерной абляции Zr в атмосфере кислорода

Abstract

Изучены структура и фазовые превращения при отжиге пленок диоксида циркония, полученных импульсным лазерным распылением мишени Zr в атмосфере кислорода. Исследования проведены методами просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Установлены условия формирования как аморфной, так и кубической фазы ZrO₂. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием микрокристаллов диоксида циркония с ГЦК-решеткой. Средний размер зерен в закристаллизованной пленке составляет 0.5 μm. Фазовое превращение сопровождается уплотнением материала пленки. Относительное изменение плотности при кристаллизации ZrO₂ составляет 10.27 ± 2.14%.