Повышение точности определения периодических составляющих микропрофиля обработанных ультрапрецизионных поверхностей

Abstract

В настоящее повышается уровень требований к метрологии параметров шероховатости, методам контроля, обработки и визуализации полученных результатов. Целью данной статьи является повышение точности определения периодических составляющих микропрофиля обработанных ультрапрецизионных поверхностей за счет аналитического моделирования и получения расчетных формул для определения необходимого числа измерений основных параметров шероховатости.

At the present time the level of requirements to metrology of parametres of a roughness, a quality monitoring, processings and visualisation of the received results is raising. The purpose of given article is increase of accuracy of definition of periodic components of a microprofile of the processed ultraprecision surfaces at the expense of analytical modelling and reception of settlement formulas for definition of necessary number of measurements of key parametres of a roughness.