DC magnetron sputtering method for obtaining nanoscale semiconductor films

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorSokol, Yevgen I.
dc.contributor.authorDobrozhan, Andrii
dc.contributor.authorMeriuts, Andrey
dc.contributor.authorKhrypunova, Аlina
dc.date.accessioned2024-09-05T07:55:23Z
dc.date.available2024-09-05T07:55:23Z
dc.date.issued2021
dc.description.abstractIt has been carried out the experimental studies of the process of semiconductor direct current magnetron sputtering, and the impact of a magnetron sputtering mode on optical properties of solar cell functional layers. In order to create thin-film solar cells based on CdTe, thin films for the base layers of thin film solar cells was obtained on flexible polyimide and glass substrates by direct current magnetron sputtering. It has found that obtained by DC magnetron sputtering method ZnO and CdS nanoscale thin films and CdTe layers have optimal optical properties for obtaining thin film solar cells based on CdS/CdTe heterosystem.
dc.identifier.citationDC magnetron sputtering method for obtaining nanoscale semiconductor films / Yevgen Sokol, Andrii Dobrozhan, Andrey Meriuts, Alina Khrypunova // Functional Basis of Nanoelectronics : collection of sci. works of the 12th Intern. Sci. Conf., Kharkiv - Odesa, September, 2021. – Kharkiv - Odesa, 2021. – P. 16-19.
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0003-1370-1482
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0002-8830-0942
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/80835
dc.language.isoen
dc.publisherІнститут сцинтиляційних матеріалів Національної академії наук України
dc.subjectsolar cells
dc.subjectcadmium sulfide
dc.subjectcadmium telluride
dc.subjectdirect current magnetron sputtering
dc.titleDC magnetron sputtering method for obtaining nanoscale semiconductor films
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Sokol_DC magnetron_2021.pdf
Розмір:
408.95 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
11.25 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра "Природничі науки"
Кафедра "Мікро- та наноелектроніка"
Кафедра "Педагогіка та психологія управління соціальними системами ім. акад. І. А. Зязюна"