Influence of the parallelepiped form localized defects on ellipsometry data: scale modeling
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Institute of Nuclear Physics
Анотація
Ця стаття присвячена проблемі аналізу еліпсометричних даних поверхні з локалізованими дефектами (різні фази, пухирі, зерна тощо).
This paper is devoted to the problem of the analysis of ellipsometric data of the surface with localized defects (di erent phases, blistering, grains etc.).
This paper is devoted to the problem of the analysis of ellipsometric data of the surface with localized defects (di erent phases, blistering, grains etc.).
Опис
Бібліографічний опис
Galuza A. A. Influence of the parallelepiped form localized defects on ellipsometry data: scale modeling / A. Galuza, I. Kolenov, A. Savchenko // Multiscale Phenomena in Condensed Matter : Abstracts of the Online conference for young researchers (YOUNG MULTIS 2021), Kraków, 5–7 July 2021. – P. 120.