Отримання тонких плівок методом дуального розпилювання та їх дослідження
Дата
2018
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Таврійський національний університет ім. В. І. Вернадського
Анотація
Алмазоподібні вуглецеві (DLC) плівки і гібридні плівки алмазоподібного вуглецю з органічними полімерами (DLC-p-h) отримували з використанням методу магнетронного дуального розпилення, характеристики плівки вивчали методами комбінаційного світорозсіювання (RLS) і наноіндентифікації.
Опис
Ключові слова
дуальне магнетронне розпилювання, алмазоподібні плівки, комбінаційне розсіювання, наноіндентифікація, dual magnetron sputtering, diamond-like films, combination scattering, nano-identification
Бібліографічний опис
Кричковська Л. В. Отримання тонких плівок методом дуального розпилювання та їх дослідження / Л. В. Кричковська, В. Л. Дубоносов // Вчені записки Таврійського національного університету ім. В. І. Вернадського. Сер. : Технічні науки. – 2018. – Т. 29 (68), № 1, ч. 2. – С. 148-152.