Отримання тонких плівок методом дуального розпилювання та їх дослідження
Loading...
Date
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Таврійський національний університет ім. В. І. Вернадського
Abstract
Алмазоподібні вуглецеві (DLC) плівки і гібридні плівки алмазоподібного вуглецю з органічними полімерами (DLC-p-h) отримували з використанням методу магнетронного дуального розпилення, характеристики плівки вивчали методами комбінаційного світорозсіювання (RLS) і наноіндентифікації.
Description
Citation
Кричковська Л. В. Отримання тонких плівок методом дуального розпилювання та їх дослідження / Л. В. Кричковська, В. Л. Дубоносов // Вчені записки Таврійського національного університету ім. В. І. Вернадського. Сер. : Технічні науки. – 2018. – Т. 29 (68), № 1, ч. 2. – С. 148-152.