Отримання тонких плівок методом дуального розпилювання та їх дослідження

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКричковська, Лідія Василівнаuk
dc.contributor.authorДубоносов, Володимир Леонідовичuk
dc.date.accessioned2022-10-28T17:32:53Z
dc.date.available2022-10-28T17:32:53Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractАлмазоподібні вуглецеві (DLC) плівки і гібридні плівки алмазоподібного вуглецю з органічними полімерами (DLC-p-h) отримували з використанням методу магнетронного дуального розпилення, характеристики плівки вивчали методами комбінаційного світорозсіювання (RLS) і наноіндентифікації.uk
dc.identifier.citationКричковська Л. В. Отримання тонких плівок методом дуального розпилювання та їх дослідження / Л. В. Кричковська, В. Л. Дубоносов // Вчені записки Таврійського національного університету ім. В. І. Вернадського. Сер. : Технічні науки. – 2018. – Т. 29 (68), № 1, ч. 2. – С. 148-152.uk
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/58772
dc.language.isouk
dc.publisherТаврійський національний університет ім. В. І. Вернадськогоuk
dc.subjectдуальне магнетронне розпилюванняuk
dc.subjectалмазоподібні плівкиuk
dc.subjectкомбінаційне розсіюванняuk
dc.subjectнаноіндентифікаціяuk
dc.subjectdual magnetron sputteringen
dc.subjectdiamond-like filmsen
dc.subjectcombination scatteringen
dc.subjectnano-identificationen
dc.titleОтримання тонких плівок методом дуального розпилювання та їх дослідженняuk
dc.title.alternativeThe production of thin films by the dual-sputtering method and their investigationen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
VZ_TNU_TN_2018_29_2_Krychkovska_Otrymannia_tonkykh.pdf
Розмір:
1.1 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
11.25 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра "Органічний синтез та фармацевтичні технології"