Фазовые превращения в пленках, осажденных лазерной абляцией Hf в атмосфере кислорода

Abstract

Изучены структура и фазовые превращения при отжиге пленок диоксида гафния, полученных импульсным лазерным распылением мишени Hf в атмосфере кислорода. Исследования проведены с помощью методов просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Установлено формирование аморфной, тетрагональной, ромбической и моноклинной фаз HfO₂. Для тетрагональной модификации HfO₂ проявляется эффект эпитаксии на подложке (001) KCl. При отжиге аморфной пленки как в вакууме, так и в воздушной атмосфере происходит ее кристаллизация с образованием моноклинной модификации HfO₂. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием ромбической и моноклинной модификаций HfO₂. При переходе от ромбической к моноклинной модификации HfO₂ имеет место фазовый размерный эффект. На заключительном этапе кристаллизации доминирующей составляющей является моноклинная модификация, представленная дендритными кристаллами HfO₂.