Формирование микрокристаллов кубической фазы ZrO₂ при кристаллизации аморфных пленок, осажденных методом лазерной абляции Zr в атмосфере кислорода
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Наука
Анотація
Изучены структура и фазовые превращения при отжиге пленок диоксида циркония, полученных импульсным лазерным распылением мишени Zr в атмосфере кислорода. Исследования проведены методами просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Установлены условия формирования как аморфной, так и кубической фазы ZrO₂. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием микрокристаллов диоксида циркония с ГЦК-решеткой. Средний размер зерен в закристаллизованной пленке составляет 0.5 μm. Фазовое превращение сопровождается уплотнением материала пленки. Относительное изменение плотности при кристаллизации ZrO₂ составляет 10.27 ± 2.14%.
Опис
Бібліографічний опис
Багмут А. Г. Формирование микрокристаллов кубической фазы ZrO₂ при кристаллизации аморфных пленок, осажденных методом лазерной абляции Zr в атмосфере кислорода / А. Г. Багмут, И. А. Багмут, Н. А. Резник // Физика твердого тела. – 2016. – Т. 58, вып. 6. – С. 1221-1224.