Формирование микрокристаллов кубической фазы ZrO₂ при кристаллизации аморфных пленок, осажденных методом лазерной абляции Zr в атмосфере кислорода
Дата
2016
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Наука
Анотація
Изучены структура и фазовые превращения при отжиге пленок диоксида циркония, полученных импульсным лазерным распылением мишени Zr в атмосфере кислорода. Исследования проведены методами просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Установлены условия формирования как аморфной, так и кубической фазы ZrO₂. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием микрокристаллов диоксида циркония с ГЦК-решеткой. Средний размер зерен в закристаллизованной пленке составляет 0.5 μm. Фазовое превращение сопровождается уплотнением материала пленки. Относительное изменение плотности при кристаллизации ZrO₂ составляет 10.27 ± 2.14%.
Опис
Ключові слова
диоксид циркония, осаждение импульсное, решетка кристаллическая, микроскопия электронная
Бібліографічний опис
Багмут А. Г. Формирование микрокристаллов кубической фазы ZrO₂ при кристаллизации аморфных пленок, осажденных методом лазерной абляции Zr в атмосфере кислорода / А. Г. Багмут, И. А. Багмут, Н. А. Резник // Физика твердого тела. – 2016. – Т. 58, вып. 6. – С. 1221-1224.