Кафедри
Постійне посилання на розділhttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/35393
Переглянути
1 результатів
Результати пошуку
Документ Использование смеси газов (C₂H₂+N₂) для получения высокотвердых карбонитридных покрытий на основе молибдена(Сумський державний університет, 2017) Береснев, В. М.; Соболь, Олег Валентинович; Погребняк, Александр Дмитриевич; Литовченко, С. В.; Мейлехов, Андрей Александрович; Немченко, У. С.; Столбовой, Вячеслав Александрович; Евтушенко, Наталья Сергеевна; Колесников, Д. А.; Ковалева, М. Г.; Мазилин, Б. А.; Маликов, Л. В.; Проценко, З. Н.; Дощечкина, И. В.Изучено влияние рабочего давления и соотношение компонент смеси газов (C2₂H₂+N₂) на элементный и фазовый составы, структуру и физико-механические характеристики формируемых вакуумно-дуговых покрытий на основе вольфрама. Показано, что для высокотемпературного применения, нитриды менее предпочтительны по сравнению с карбидами. В температурном интервале осаждения 400-550 °С в результате плазмо-химических реакций при составе газовой атмосферы 80% C2₂H₂+20% N₂ максимальное содержание атомов азота в покрытии не превышает 1,5 ат.%. Для состава 40% C2₂H₂+60% N₂ максимальное соотношение N/C (в ат.%) повышается до 10,5 % при максимальном давлении 3х10⁻³ Торр. Относительное содержание атомов азота увеличивается с повышением давления смеси. Плазменно-химические реакции при осаждении в смеси газов приводят к формированию фаз с нанометровым размером кристаллитов и фазовым составом на основе y-MoC (80% C₂H₂+20% N₂) и фаз y-MoC и y-Mo₂N (при меньшем содержании C₂H₂ (40% C₂H₂+60% N₂) в газовой смеси. Установлено, что определяющим фактором повышения твердости является рабочее давление смеси газов при осаждении. При наибольшем давлении 3х10⁻³ Торр, когда формируется текстура [100] нанокристаллитов карбида молибдена (y-MoC) достигается сверхтвердое состояние с твердостью 50,5 ГПа.